配气仪、混气仪、气体浓度配比装置的工艺

作者： william威廉中文官网流体

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配气仪、混气仪、气体浓度配比装置他的功能都是实现多组分气体的混合输出，叫法不一样，但是工艺原理都是一样的。都是利用高精度气体质量流量控制器对每组份气体进行精密控制流量实现不同浓度的配比，达到测量和控制范围50倍、500倍、1000倍、至10000倍的稀释范围。其核心目标是实现高精度、稳定、可重复的气体混合。

LFIX混气仪通过质量流量控制器（MFC）或比例阀控制多组分气体流量，实现ppm至百分比级浓度混合。气体混配器支持程序化调节浓度、流量，部分设备可联网远程操作。能实时监测并存储浓度、流量、压力等参数。采用质量流量控制原理：由质量流量传感器、热式原件、质量流量调节阀和压力检测组件等组成，它利用体混配器的流动的流体不同的流量效应而制成，其原理是采用量热法原理测量气体的质量流量，并分别控制各自气体的流量，进入混合器进行精密混合，将混合后的气体按需输出给用气点，同时设备自带多种测量原件对气体进行检测，保证混合的精确性。